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MAT. IMPRESO

Título Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications / volume editor Norbert Kockmann

Publicación Weinheim (Germany) : Wiley-VCH, cop. 2006
Ubicación Signatura Tipo de préstamo Estado Notas
 EINA.Ing.Quím/Medio Ambiente  IQ-I.Q./BRA(ed)/mic    CONSULTAR DEPT  DISPONIBLE
Descripción física XXII, 507 p. : il. ; 25 cm
Colección Advanced micro & nanosystems ; 5
Nota Incluye índice
Bibliografía Bibliografía en cada capítulo
Materia Microtecnología
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Ingeniería de producción
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Autor secundario Kockmann, Norbert, ed. lit.
ISBN 9783527312467