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Cubierta del libro
MAT. IMPRESO

Título Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication . Volume 2, Micromachining and microfabrication / P. Rai-Choudhury, editor

Publicación Bellingham, Washington: SPIE Optical Engineering Press ; London : Institution of Electrical Engineers, cop. 1997
Ubicación Signatura Tipo de préstamo Estado Notas
 Campus Río Ebro-Instituto de Nanociencia  INA 5/2    CONSULTAR DEPT  DISPONIBLE
Descripción física 692 p. : il. ; 26 cm
Colección SPIE Press monograph ; 40
IEEE materials and devices series ; 12B
Nota Índice
Bibliografía Bibliografía: p. 685-688
Materia Microfabricación
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Sistemas microelectromecánicos
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Autor secundario Rai-Choudhury, P., ed. lit.
ISBN 0819423793 (SPIE)
0852969112 (IEE)